ଜମା କରିବା
ଅନ୍ତର୍ଦୃଷ୍ଟି ହାସଲ କରନ୍ତୁ ଏବଂ ବିକାଶ ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ତ୍ୱରାନ୍ୱିତ କରନ୍ତୁ।
ଆଡଭାନ୍ସଡ୍ ଏନର୍ଜି ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଡିପୋଜିସନ୍ ଆପ୍ଲିକେସନ୍ ଏବଂ ଡିଭାଇସ୍ ଜ୍ୟାମିତି ପାଇଁ ପାୱାର ସପ୍ଲାଏ ଏବଂ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ସମାଧାନ ପ୍ରଦାନ କରେ। ୱେଫର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜଗୁଡ଼ିକୁ ସମାଧାନ କରିବା ପାଇଁ, ଆମର ପ୍ରିସିସନ୍ ପାୱାର କନଭର୍ସନ ସମାଧାନଗୁଡ଼ିକ ଆପଣଙ୍କୁ ପାୱାର ସଠିକତା, ସଠିକତା, ଗତି ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପୁନରାବୃତ୍ତିକୁ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ କରିବାକୁ ଅନୁମତି ଦିଏ।
ଆମେ RF ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି, DC ପାୱାର ସିଷ୍ଟମ, କଷ୍ଟମାଇଜ୍ଡ ପାୱାର ଆଉଟପୁଟ୍ ସ୍ତର, ମେଳ ଖାଉଥିବା ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଏବଂ ଫାଇବର ଅପ୍ଟିକ୍ ତାପମାତ୍ରା ମନିଟରିଂ ସମାଧାନର ଏକ ବିସ୍ତୃତ ପରିସର ପ୍ରଦାନ କରୁ ଯାହା ପ୍ରକୃତରେ ଆପଣଙ୍କୁ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପ୍ଲାଜମାକୁ ଭଲ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରିବାକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ। ଆମେ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଅନ୍ତର୍ଦୃଷ୍ଟି ପ୍ରଦାନ କରିବା ଏବଂ ବିକାଶ ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ତ୍ୱରାନ୍ୱିତ କରିବା ପାଇଁ ଫାଷ୍ଟ DAQ™ ଏବଂ ଆମର ଡାଟା ଅଧିଗ୍ରହଣ ଏବଂ ପ୍ରବେଶଯୋଗ୍ୟତା ସୁଟ୍ ମଧ୍ୟ ଏକୀକୃତ କରୁ।
ଆପଣଙ୍କ ଆବଶ୍ୟକତା ଅନୁଯାୟୀ ସମାଧାନ ଖୋଜିବା ପାଇଁ ଆମର ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ନିର୍ମାଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ବିଷୟରେ ଅଧିକ ଜାଣନ୍ତୁ।
ତୁମର ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜ
ସମନ୍ୱିତ ସର୍କିଟ୍ ପରିମାପକୁ ପ୍ୟାଟର୍ନ କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ଫିଲ୍ମଠାରୁ ଆରମ୍ଭ କରି କଣ୍ଡକ୍ଟିଭ୍ ଏବଂ ଇନସୁଲେଟିଭ୍ ଫିଲ୍ମ (ବୈଦ୍ୟୁତିକ ଗଠନ) ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ, ଧାତୁ ଫିଲ୍ମ (ଆନ୍ତଃସଂଯୋଗ) ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ, ଆପଣଙ୍କର ଜମା ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ପରମାଣୁ-ସ୍ତରୀୟ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଆବଶ୍ୟକ - କେବଳ ପ୍ରତ୍ୟେକ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ପାଇଁ ନୁହେଁ ବରଂ ସମଗ୍ର ୱେଫରରେ।
ଗଠନ ବ୍ୟତୀତ, ଆପଣଙ୍କର ଜମା ହୋଇଥିବା ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକ ଉଚ୍ଚମାନର ହେବା ଆବଶ୍ୟକ। ସେଗୁଡ଼ିକରେ ଇଚ୍ଛିତ ଶସ୍ୟ ଗଠନ, ସମାନତା ଏବଂ ଅନୁରୂପ ଘନତା ରହିବା ଆବଶ୍ୟକ, ଏବଂ ଶୂନ୍ୟତା-ମୁକ୍ତ ହେବା ଆବଶ୍ୟକ - ଏବଂ ଏହା ଆବଶ୍ୟକୀୟ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଚାପ (ସଙ୍କୋଚନ ଏବଂ ଟେନସାଇଲ୍) ଏବଂ ବୈଦ୍ୟୁତିକ ଗୁଣ ପ୍ରଦାନ କରିବା ସହିତ।
ଜଟିଳତା କେବଳ ବୃଦ୍ଧି ପାଇବାରେ ଲାଗିଛି। ଲିଥୋଗ୍ରାଫି ସୀମା (ସବ-1X nm ନୋଡ୍ସ) ସମାଧାନ କରିବା ପାଇଁ, ସ୍ୱୟଂ-ସଜ୍ଜିତ ଡବଲ୍ ଏବଂ କ୍ୱାଡ୍ରୁପ୍ଲ ପ୍ୟାଟର୍ନିଂ କୌଶଳଗୁଡ଼ିକ ପ୍ରତ୍ୟେକ ୱେଫରରେ ପ୍ୟାଟର୍ନ ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ପୁନଃଉତ୍ପାଦନ କରିବା ପାଇଁ ଆପଣଙ୍କର ଡିପୋଜିସନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଆବଶ୍ୟକ କରେ।
ଆମର ସମାଧାନ
ଯେତେବେଳେ ଆପଣ ସବୁଠାରୁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଡିପୋଜିସନ୍ ଆପ୍ଲିକେସନ୍ ଏବଂ ଡିଭାଇସ୍ ଜ୍ୟାମିତି ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତି, ଆପଣଙ୍କୁ ଜଣେ ନିର୍ଭରଯୋଗ୍ୟ ବଜାର ନେତାର ଆବଶ୍ୟକତା ପଡ଼ିଥାଏ।
ଆଡଭାନ୍ସଡ୍ ଏନର୍ଜିର RF ପାୱାର ଡେଲିଭରି ଏବଂ ହାଇ-ସ୍ପିଡ୍ ମ୍ୟାଚ୍ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଆପଣଙ୍କୁ ସମସ୍ତ ଉନ୍ନତ PECVD ଏବଂ PEALD ଡିପୋଜିସନ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକ ପାୱାର ସଠିକତା, ସଠିକତା, ଗତି ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପୁନରାବୃତ୍ତିକୁ କଷ୍ଟମାଇଜ୍ ଏବଂ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ କରିବାକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ।
ଆପଣଙ୍କର ବିନ୍ୟାସଯୋଗ୍ୟ ଆର୍କ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା, ଶକ୍ତି ସଠିକତା, ଗତି, ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପୁନରାବୃତ୍ତି ଆବଶ୍ୟକୀୟ PVD (ସ୍ପୁଟରିଂ) ଏବଂ ECD ଜମା ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ସୂକ୍ଷ୍ମ-ସଜ୍ଜିତ କରିବା ପାଇଁ ଆମର DC ଜେନେରେଟର ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତୁ।
ଲାଭ
● ବର୍ଦ୍ଧିତ ପ୍ଲାଜମା ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ପୁନରାବୃତ୍ତି କ୍ଷମତା ଉତ୍ପାଦନ ବୃଦ୍ଧି କରେ।
● ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଡିଜିଟାଲ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ସହିତ ସଠିକ୍ RF ଏବଂ DC ବିତରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଦକ୍ଷତାକୁ ଉନ୍ନତ କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରେ।
● ପ୍ଲାଜମା ପରିବର୍ତ୍ତନ ଏବଂ ଆର୍କ ପରିଚାଳନା ପ୍ରତି ଦ୍ରୁତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା।
● ଅନୁକୂଳିତ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ଟ୍ୟୁନିଂ ସହିତ ବହୁ-ସ୍ତରୀୟ ପଲ୍ସିଂ ଏଚ୍ ହାର ଚୟନକୁ ଉନ୍ନତ କରେ।
● ସର୍ବାଧିକ ଅପଟାଇମ୍ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ବିଶ୍ୱବ୍ୟାପୀ ସମର୍ଥନ ଉପଲବ୍ଧ।